産品簡(jian)介:
FS4001系列(liè)
氣體流(liu)量監測(ce)傳感器(qì)
是(shì)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qi)體的測(ce)量和過(guò)程控制(zhi)而🧑🏾🤝🧑🏼設計(ji)的。這㊙️一(yī)📐系列傳(chuan)感器均(jun1)采用本(ben)公司自(zi)主研發(fa)的微機(ji)電🤩系統(tǒng)♋(
MEMS
)流(liu)量傳感(gǎn)芯片來(lai)制作。
FS4001系(xi)列
氣體(tǐ)流量監(jian)測傳感(gǎn)器
适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)之可用(yong)于各類(lei)管徑,成(cheng)本低、易(yi)安裝、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(lì)補償,可(kě)替🔞代容(róng)積式或(huo)壓差式(shi)的傳統(tǒng)流量傳(chuan)感器。
産品特(tè)點:
-
傳感器(qi)靈敏度(dù)高
,
有極小(xiǎo)的始動(dong)流量
-
傳感(gǎn)器芯片(pian)采用熱(re)質量流(liú)量計量(liàng)
,
無(wu)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償
,
保證了(le)傳
-
感器的(de)高精度(du)計量
-
在單(dan)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(jí)成
,
使傳感(gan)器的量(liang)程比大(dà)大提高(gao)
-
傳(chuan)感器的(de)零點穩(wěn)定度高(gāo)
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全(quan)量程高(gao)穩定性(xing)
-
全(quán)量程高(gao)精确度(du)和優良(liáng)的重複(fú)性
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低功耗(hào)
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低(di)壓損
-
響應(yīng)時間快(kuài)
機(jī)械尺寸(cun):
主要(yào)參數:
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性(xing)能參數(shù)
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FS4001
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單位
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通(tōng) 徑
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1.0
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1.8
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mm
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大流(liú)量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SLPM
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量程(cheng)比
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>100:1
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精 度(du)
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性(xing)
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0.25
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%讀數
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零(ling)點輸出(chū)飄移
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±30
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mV
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輸(shu)出飄移(yí)
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±0.12
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%/oC
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響應時(shí)間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作(zuò)電源
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8~18Vdc,50mA
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輸(shū)出方式(shì)
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線性,RS232/模(mo)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
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大流量(liàng)壓損
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350
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300
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pa
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大(da)工作壓(yā)力
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0.5
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MPa
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工作(zuo)溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存(cun)儲溫度(du)
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-20 ~ +65
|
oC
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工作濕(shi)度
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<95%RH(無結(jié)冰、無凝(ning)露)
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機械(xiè)接口
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可(ke)拆式軟(ruan)管接頭(tóu)
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校準方(fāng)式
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空氣(qì)(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa
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重(zhòng)量
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15
|
g
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