産(chǎn)品簡介(jiè):
MF5600小口徑(jìng)氣體質(zhì)量流量(liang)計
應(ying)用環境(jìng)
MF5600小口徑(jing)氣體質(zhì)量流量(liang)計
是用于(yu)測量和(hé)控制氣(qì)體質量(liang)流量的(de)新型儀(yi)表。
可靠性(xing)高
重複性(xing)好
測量精(jing)度高
壓損(sun)小
無活動(dòng)部件
量程(cheng)比寬
響應(ying)速度快(kuai)
無(wú)須溫壓(ya)補償
12
氣體
流量(liang)計
應
用
•
工業管(guan)道中氣(qi)體質量(liàng)流量測(cè)量
•
煙囪排(pai)出的煙(yan)氣流速(su)測量
•
壓(yā)縮空氣(qì)流量測(cè)量
•
半道體(tǐ)芯片制(zhì)造過程(chéng)中氣體(tǐ)流量測(ce)量
•
水泥(ni)、卷煙、玻(bo)璃廠生(shēng)産過程(cheng)中氣體(tǐ)質量流(liú)
産(chǎn)品特點(diǎn):
|
|
|
MF5619 |
單位(wei) |
|
|
12 |
19 |
mm |
|
|
200, 300 |
600, 800 |
SLPM |
|
|
0.3 |
0.8 |
SLPM |
|
|
|
|
|
|
|
100 : 1 |
|
|
|
1.5 級(jí) |
|
||
|
重複性(xing) |
|
% |
|
|
|
MPa |
||
|
|
|
o |
|
|
濕 度 |
< 95%RH (無結(jie)冰,無凝(níng)露) |
|
|
|
|
|
||
|
輸(shu) 出 |
|
||
|
|
|
||
86-020-85628533