流(liu)量測量技(jì)術之 微小流量(liang) 的測(cè)量     
半(ban)導體制造(zào)業、生物工(gōng)程、精細化(hua)工等的興(xing)起，使流量(liang)測量向低(di)端延伸，小(xiao)流量計流(liu)量的要求(qiú)在上世♻️紀(jì) 80 ∽ 90 年代凸顯(xiǎn)起來。何謂(wèi)小流量 ? 業界尚(shang)無*的定義(yi)和界限，小(xiǎo)流量因應(ying)用領域而(ér)異是一🍉個(ge)模☎️糊的概(gai)念。管道小(xiao)流量測量(liang)體現于管(guan)徑小和流(liu)速低兩個(ge)層次，就☔流(liu)程工業而(ér)言，習慣上(shang) DN10 甚至(zhi) DN15 以下(xià)管徑流量(liàng)測量稱之(zhi)小流量測(ce)量，通常其(qi)流量值液(ye)體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量儀(yí)表滿度流(liú)量時的流(liu)速低于 0.1m/s 。
1 、測(ce)量方法
傳統小(xiao)流量測量(liang)技術節流(liu)差壓 ( 層流 ) 法、浮子法(fǎ)和容積法(fǎ)等有了的(de)改進，新測(ce)量技術如(rú)超聲法、熱(re)法🌈、科裏奧(ào)利法等也(yě)有成效地(dì)應于液體(ti)和氣🔴體小(xiao)流量測量(liàng)。
2 、特點(diǎn)
微小(xiǎo)流量與一(yi)般流量測(cè)量相比較(jiào)，具有以下(xià)特點。
1) 雷諾數低(dī)
一般(ban)管道流動(dong)均爲紊流(liú)流動，流量(liang)儀表也是(shì)針對紊流(liu)🚩流動🈲态㊙️設(shè)計的，而小(xiao)流量儀表(biao)因管徑小(xiao)常處于層(céng)流流♉動 ( 例如管(guǎn)内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊流(liú)過渡區流(liu)态流動，小(xiao)流量測量(liang)受使用中(zhōng)流體黏度(du)變化影響(xiǎng)頗大。
2) 要用實際(jì)使用流體(tǐ)校準
液體流量(liàng)儀表一般(ban)用水校準(zhun)，氣體用空(kong)氣校準。若(ruo)知道實際(jì)測量流體(ti)與校準流(liu)體間某些(xie)物性不同(tong)對示值有(yǒu)🌈規律變化(huà)時，中大管(guǎn)徑流量儀(yi)表常以适(shì)當系數修(xiu)正。但有些(xiē)小流量儀(yí)表受黏度(dù)等流體物(wù)性影響大(da)，須以實際(jì)使用流體(tǐ)校準。所幸(xing)流量小，用(yong)實際使用(yòng)流體校準(zhǔn)難度不大(da)，但在作✏️有(yǒu)害性流體(tǐ)校準時應(ying)注意安全(quan)和環境污(wu)🌈染。
3) 要(yào)求測量時(shi)防止污染(ran)流體
若測量潔(jié)淨氣體和(hé)純水常不(bú)允許接觸(chù)流體的儀(yí)⁉️表零件材(cái)料析出離(li)子，例如半(ban)導體制備(bei)中儀表不(bú)能用金屬(shǔ)和玻💋璃制(zhì)成，隻能用(yong)塑料。流體(ti)中也不允(yun)許混入活(huó)動件💛的磨(mó)蝕塵粒。流(liu)🚶‍♀️量儀表流(liu)通通道要(yao)☔盡可能簡(jian)單，不應有(you)潴留 ( 指液體在(zai)體内不正(zhèng)常地聚集(jí)停留 ) 部位，防止(zhi)潴留介質(zhi)變質。
4) 氣泡和塵(chen)埃附着的(de)影響
因管徑小(xiao)黏性增加(jiā)，液體中微(wei)細氣泡易(yì)在管系流(liú)動過程中(zhong)積聚變大(dà)，使測量時(shi)指示不穩(wen)，度下降。流(liu)🔅體中塵埃(ai)附着測量(liang)元件也要(yào)影響測量(liàng)值，例如浮(fú)子流量計(jì)的浮子上(shang)沉積有肉(rou)眼覺察不(bu)出的附着(zhe)層也會影(yǐng)🧡響示值。
5) 流量儀(yi)表品種使(shǐ)用上受到(dào)一定限制(zhì)
在衆(zhōng)多測量原(yuán)理流量儀(yí)表中，因各(ge)種原因小(xiao)流量應用(yòng)受到一些(xie)限制，當前(qian)能應用于(yu)小流量的(de)品種如表(biao)格所示