産品時(shi)間：2025-12-01
FS4001系列測量氣(qi)體流量傳感(gan)器是專門爲(wei)各類小流量(liàng)氣體的測量(liàng)和過程控制(zhì)而設計的。這(zhe)一系列傳感(gan)器均采用本(běn)公🈲司自主研(yan)發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片💘來制(zhi)作🏃🏻♂️，适用于各(gè)類清💯潔氣體(ti)🚶♀️。
簡介：
FS4001系(xì)列測量氣體(ti)流量傳感器(qi) ）流量傳感芯(xin)片來制作。
FS4001系(xi)列測量氣體(ti)流量傳感器(qì) 适用于(yu)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(jì)術使之可用(yong)于各類⁉️管徑(jing)，成本低、易安(ān)裝、不需要溫(wēn)度壓力補償(cháng)，可替代容積(ji)式或壓差式(shì)的傳統流量(liàng)傳感器。
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傳感(gǎn)器靈敏度高(gāo)
,
有極小(xiao)的始動流量(liang)
,
無需(xu)溫度壓力補(bu)償
,
保證(zhèng)了傳
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感(gan)器的高精度(du)計量
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在(zài)單個芯片上(shang)實現了多傳(chuan)感器集成
,
使傳感器(qì)的量程比大(dà)大提高
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傳感器的零(ling)點穩定度高(gao)
全量程(chéng)高穩定性
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全量程高(gāo)精确度和優(you)良的重複性(xìng)
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低功耗(hào)
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低壓損(sǔn)
主(zhu)要參數：
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性能(néng)參數 |
單位 |
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1.0 |
1.8 |
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大流量 |
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500, 1000 |
SLPM |
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量(liàng)程比 |
>100：1 |
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精 度 |
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% |
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重(zhong)複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零(líng)點輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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%/oC |
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響(xiǎng)應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方(fang)式 |
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pa |
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大工作(zuo)壓力 |
0.5 |
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-10 ~ +55 |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無(wu)結冰、無凝露(lu)） |
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可(kě)拆式軟管接(jiē)頭 |
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校準方式(shi) |
空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
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