FS4001系列小流量氣體質量流量傳感器-廣州迪川儀器儀表有限公司
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FS4001系(xì)列小流(liú)量氣體(ti)質量流(liú)量傳感(gan)器

産品(pǐn)時間:2025-12-18

簡(jian)要描述(shù):

FS4001系列小(xiǎo)流量氣(qì)體質量(liang)流量傳(chuan)感器是(shi)專門爲(wei)各類小(xiǎo)流量氣(qi)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yī)系列傳(chuán)感器👌均(jun1)采用本(ben)公司自(zi)主研發(fa)的微機(ji)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳(chuan)感芯片(pian)來制作(zuò)🏃,适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)⚽之可用(yòng)于各類(lei)管徑,成(cheng)本低、易(yi)安裝、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(lì)補償,可(ke)替代容(rong)積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tǒng)流量傳(chuan)感器。

産(chǎn)品簡介(jiè):

FS4001系列小(xiao)流量氣(qì)體質量(liàng)流量傳(chuán)感器 是(shì)專門爲(wei)各類小(xiǎo)流量氣(qì)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yī)系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(ben)公司自(zì)主研發(fa)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳(chuán)感芯片(piàn)來制作(zuò),适用于(yú)各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)之可用(yong)于各✌️類(lei)管徑,成(chéng)本低、易(yì)安裝、不(bu)需要溫(wen)度壓力(li)補償,可(kě)替代❄️容(róng)積式或(huò)㊙️壓差式(shì)的傳統(tong)流量傳(chuán)感器。

産(chǎn)品特點(dian)

FS4001系(xi)列小流(liu)量氣體(tǐ)質量流(liú)量傳感(gǎn)器 靈敏(mǐn)度高,有(yǒu)小的始(shǐ)動流量(liàng)傳感器(qì)芯片采(cai)用熱質(zhi)量流量(liang)♋計量,無(wú)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償,保證(zheng)了傳感(gan)器的高(gāo)精📞度計(ji)量在🚶‍♀️單(dān)個芯片(pian)上實現(xian)了多傳(chuan)感器集(ji)成,使傳(chuán)感器的(de)量程比(bǐ)大大提(tí)高傳感(gǎn)器的零(ling)點穩定(ding)度高全(quán)量程高(gāo)穩定性(xing)全量程(chéng)高精确(que)度和優(yōu)良的重(zhòng)複性低(dī)功耗低(dī)壓損響(xiang)應時間(jian)快
主要(yào)參數:

性(xing)能參數(shù)

FS4001

單位

通(tōng) 徑

1.0

1.8

mm

大流(liú)量

30, 100, 200

500, 1000

SCCM

量程(cheng)比

≥100:1

 

零(ling)點輸出(chu)飄移

±30

mV

輸(shu)出飄移(yí)

±0.12

%/oC

響應時(shí)間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作(zuo)電源

 

輸(shū)出方式(shì)

線性,RS232/模(mó)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc

 

350

300

pa

工作(zuò)溫度

-10 ~ +55

oC

存(cun)儲溫度(du)

-20 ~ +65

oC

工作濕(shi)度

<95%RH(無結(jié)冰、無凝(ning)露)

 

校準方(fāng)式

空氣(qi)(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa

 

重(zhong)量

15

g

機械(xie)尺寸:

留(liu)言框

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