FS4001系(xì)列小流量(liang)氣體質量(liang)流量傳感(gan)器

簡要描(miao)述：

FS4001系列小(xiǎo)流量氣體(tǐ)質量流量(liàng)傳感器是(shi)專門爲各(gè)類小流💘量(liàng)氣😘體的測(cè)量和過程(chéng)控制而設(shè)計的。這一(yī)系列傳感(gan)器均采用(yòng)本公司🌈自(zi)主研發的(de)微機電系(xì)統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來(lái)制作，适用(yong)于各類清(qing)潔氣體。*的(de)封裝技術(shu)使之可用(yong)于🚩各類管(guan)徑，成本低(di)、易🥵安裝、不(bú)需要溫度(dù)壓力補償(chang)，可替代容(rong)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統👄流量傳(chuan)感器。

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詳細(xi)介紹

産品(pǐn)簡介：

FS4001系列(liè)小流量氣(qì)體質量流(liu)量傳感器(qì) 是專門爲(wei)各類小流(liu)量氣體的(de)測量和過(guò)程控制而(er)設計的。這(zhe)一系列傳(chuan)感器均采(cai)用本公司(sī)自主研發(fa)的微機電(dian)系統（MEMS）流量(liàng)傳感芯片(piàn)來制作，适(shì)用于各類(lei)清潔氣體(ti)。*的封裝技(ji)術使之可(kě)🤞用于各類(lei)管徑，成本(ben)低、易安裝(zhuāng)、不需要溫(wēn)度壓力補(bǔ)償，可替代(dài)容積式或(huò)壓差式的(de)傳統流量(liàng)傳感器。

産(chǎn)品特點：

FS4001系列小(xiǎo)流量氣體(tǐ)質量流量(liang)傳感器 靈(líng)敏度高,有(yǒu)小的始動(dòng)流量傳感(gǎn)器芯片采(cǎi)用熱質量(liàng)流量🌐計🚶‍♀️量(liàng),無需溫度(dù)壓力補償(chang),保證了傳(chuán)感器的高(gao)精度計量(liàng)在🏃🏻單個芯(xīn)片上實現(xian)了多傳感(gan)器集成,使(shǐ)傳感器的(de)量程比大(da)大提高傳(chuán)感器的零(líng)點穩定度(du)高全量程(cheng)高穩定性(xing)全量程高(gao)精确度和(hé)優良的🧑🏾‍🤝‍🧑🏼重(zhòng)複性低功(gōng)耗低壓損(sun)響📐應時間(jian)快
主要參(cān)數：

性能參(can)數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流量(liang)	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零點(dian)輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuán)	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shì)	線性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc
大流(liú)量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力(li)	0.5		MPa
工作溫度(dù)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度(du)	<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）
機械(xiè)接口	可拆(chai)式軟管接(jiē)頭
校準方(fang)式	空氣（或(huò)其他氣體(tǐ)），20oC，101.325kPa
重量	15		g

機械(xiè)尺寸：

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