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氣體檢測/測漏(lòu)流量計

産品時(shí)間：2025-12-01

簡要描述：

氣(qì)體檢測/測漏流(liu)量計傳感器靈(ling)敏度高,有極小(xiao)的始♻️動🍓流量
- 傳(chuán)感器芯片采用(yòng)熱質量流量計(ji)量,無需溫度壓(yā)力補償,保證了(le)傳
- 感器的高精(jing)度計量
- 在單個(ge)芯片上實現了(le)多傳感器集成(cheng),使傳感器的量(liàng)程比🏃🏻大大提高(gao)
- 傳感器的零點(dian)穩定度高全量(liang)程高穩定性

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詳細介紹

氣(qi)體檢測/測漏流(liu)量計

産品簡介(jiè)：
FS4001系列小流量氣(qi)體質量流量傳(chuan)感器是專門爲(wei)各類🎯小流量氣(qì)體的測量和過(guo)程控制而設計(ji)的。這一系列傳(chuán)🌈感器均采用本(běn)公司自主研發(fa)的微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來制作，适用于(yu)各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shǐ)之可用于各類(lei)管徑，成本低、易(yi)安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償，可(kě)替代容積式或(huo)壓差式的傳統(tong)流量傳感器💯。

氣(qì)體檢測/測漏流(liu)量計産品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度(du)高,有極小的始(shǐ)動流量
- 傳感器(qì)芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無(wú)需溫度壓力補(bu)償,保證了㊙️傳
- 感(gǎn)器的高精度計(ji)量
- 在單個芯片(piàn)上實現了多傳(chuan)感器集成,使傳(chuan)感器的量程比(bǐ)📞大大提高
- 傳感(gan)器的零點穩定(dìng)度高
- 全量程高(gao)穩定性
- 全量程(cheng)高精确度和優(yōu)良的重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓損
- 響(xiǎng)應時間快

主要(yao)參數：

性能參數(shù)	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
zui大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	2132132132131231312100:1
精度(dù)	±（1.5+0.2FS）		%
重複性	0.25		%讀數
零(líng)點輸出飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式	線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc
zui大流量(liàng)壓損	350	300	pa
zui大工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存(cun)儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shī)度	<95%RH（無結冰、無凝(ning)露）
機械接口	可(ke)拆式軟管接頭(tóu)
校準方式	空氣(qì)（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g