微小(xiǎo)氣體流量計FS4001
産品(pin)時間：2025-12-01
簡要描述：
微(wēi)小氣體流量計FS4001專(zhuan)門爲各類小流量(liàng)氣體的測量和過(guo)程控制而設計的(de)。這一系列傳感器(qi)均采用本公司自(zì)主研發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳感芯(xin)片來制作，适用于(yú)各類🈲清潔氣體。*的(de)封裝技術🔞使之可(kě)用于各類管徑🐇，成(cheng)本低、易安裝、不需(xū)要溫度壓力補償(chang)，可替代容積式或(huò)壓差式的✌️傳統流(liu)量傳感器。
微小氣體流(liu)量計FS4001
産品簡(jiǎn)介：
FS4001
系列小流(liu)量氣體質量流量(liang)傳感器是廣州迪(di)川儀器儀表有👣限(xiàn)公司專門爲各類(lèi)小流量氣體的測(ce)量和過程控制而(er)設計的。這一系列(liè)傳感器均采用本(běn)公司自‼️主研發的(de)微機電系統（
MEMS
）流量傳感芯片來(lái)制作，适用于各類(lèi)清潔氣體。*的封裝(zhuāng)🍉技🍓術使之可用于(yú)各類管徑，成本低(dī)、易安裝、不需要溫(wēn)💁度壓力補償，可替(ti)代容積式或壓差(cha)式的傳統流量傳(chuan)感器。
微小氣體流(liú)量計FS4001
産品特(tè)點：
-
傳感器靈(líng)敏度高
,
有極(ji)小的始動流量
-
傳感器芯片采(cai)用熱質量流量計(ji)量
,
無需溫度(du)壓力補償
,
保(bao)證了傳
-
感器(qì)的高精度計量
-
在單個芯片上(shàng)實現了多傳感器(qì)集成
,
使傳感(gan)器的量程比大大(da)提高
-
傳感器(qì)的零點穩定度高(gao)
-
全量程高穩(wěn)定性
-
全量程(cheng)高精度和優良的(de)重複性
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低功(gōng)耗
-
低壓損
-
響應時間快
主(zhǔ)要參數：
FS4001系列微小(xiao)流量計
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性能(néng)參數 |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.25 |
% 讀數 |
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零點輸(shu)出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出(chū)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuan) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性， RS232/ 模拟(ni)電壓 0.5~4.5Vdc |
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大流量(liàng)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作(zuò)壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH （無結冰、無凝露(lu)） |
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機械接口 |
可拆式軟管接(jie)頭 |
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校準方式(shì) |
空氣（或其他(tā)氣體）， 20oC ， 101.325kPa |
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重(zhòng)量 |
15 |
g |
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